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羅茨泵機組原理與應(yīng)用

來源：成都新德南光機械設(shè)備有限公司 | 發(fā)布時間：2025-07-13 |

羅茨泵機組工作原理

羅茨泵機組是一種容積式真空泵，由兩個相互嚙合的“8”字形轉(zhuǎn)子（羅茨轉(zhuǎn)子）在泵腔內(nèi)同步反向旋轉(zhuǎn)，實現(xiàn)氣體的吸入和排出。其核心特點是無內(nèi)部壓縮，依靠轉(zhuǎn)子的高速旋轉(zhuǎn)將氣體從進氣端推向排氣端，再通過前級泵（如旋片泵或螺桿泵）將氣體排出系統(tǒng)，廣泛應(yīng)用于對真空度和潔凈度要求較高的行業(yè)。

羅茨泵本身不能單獨工作，需與前級泵組成機組，形成兩級或多級抽氣系統(tǒng)。其抽氣過程分為三個階段：
吸氣階段：轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時，進氣口側(cè)容積增大，吸入氣體。
輸送階段：轉(zhuǎn)子繼續(xù)旋轉(zhuǎn)，將氣體封閉在泵腔與殼體之間，向排氣端輸送。
排氣階段：氣體被推至排氣口，由前級泵抽走。
羅茨泵的極限真空可達10?2~10?3 Pa，具有抽速大（可達數(shù)萬m3/h）、無油污染、耐腐蝕等優(yōu)勢，適用于潔凈真空環(huán)境。

羅茨泵機組應(yīng)用場景

半導(dǎo)體與光伏制造：用于晶圓鍍膜、刻蝕、CVD（化學(xué)氣相沉積）等工藝，提供高潔凈真空環(huán)境，避免油污染。
真空冶金：在熔煉、燒結(jié)、熱處理等過程中維持穩(wěn)定真空，提高材料純度。
化工與醫(yī)藥：用于大型真空蒸餾、凍干機、原料藥生產(chǎn)，確保無油污染。
科研與實驗室：應(yīng)用于粒子加速器、真空鍍膜、空間模擬艙等，提供穩(wěn)定抽氣能力。
食品包裝：用于真空包裝機，提高食品保鮮效果，延長保質(zhì)期。